,就可以达到7nm制程工艺。”
沙领导问道:“现在逻辑和华为的手机用的都是7nm制程工艺的芯片对吗?”
陆飞点了下头,“没错,7nm是目前市面上最先进的制程工艺,不过根据摩尔定律,再过个一两年,就可能突破到5nm。”
“5nm是不是就需要EUV光刻机了?”
郑韩好奇道。
“有EUV光刻机固然是好,只要一次曝光,一个光罩就能实现7nm、5nm,但没有EUV光刻机也无妨,有这台DUV浸润式光刻机也可以做到。”
陆飞露出个看似轻松的笑容。
“喔?”
顷刻间,一众领导的目光齐聚于他。
“梁博士想到的方案,如果把光刻机极限使用,经过6个光罩,9次曝光,也可以实现5nm工艺。”陆飞直截了当地回答。
一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道:“光刻机这么极限使用,会不会影响到使用寿命?”
“还有良率。”
“是啊,经过这么多道曝光,任何一道工序失败,都可能满盘皆输,成本就上来了……”
领导们来回分析,议论纷纷。
陆飞只能一一回答,“损害寿命肯定会损害,良率低也肯定会低一些,成本自然也就会高一点,但这是没有办法的办法,目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破,还有不少技术难题摆在面前,需要时间去攻破。”
“比如呢?”
沙领导投去问询的目光。
“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台,现在双工作台已经解决了,光源问题也突破了,就剩下物镜系统。”
陆飞直说道:“AMSL、尼康的光刻机用的是蔡司的技术,但蔡司愿意卖给AMSL、尼康,但绝对不会出口给我们。”
然后叹了口气,“没办法,我们只能从零开始,联合长春光机、徕卡、华为等联合研发,现在搞定了DUV浸润式的物镜系统,至于EUV的,恐怕需要很长一段时间。”
“那这期间,复芯、中芯的晶圆代工,有没有可能会被台积电、英特尔的差距拉大?”
郑韩皱了皱眉。
“肯定会,但好在情况并不糟糕。”
陆飞笑道:“虽然5nm是目前我们的极限,理论上而言,台积电、英特尔、三星这些有EUV光刻机的,制程工艺甚至可以冲击到1nm,但得到的回报并不会太高。”
不少领导感到奇怪,“为什么这么说?制程工艺难道不是越先进越好嘛?”
“理论上是这样,但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势,搭载5nm芯片的手机体验,未必就不如3nm,就会让3nm及以下工艺陷入一种尴尬的地步,飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”
陆飞嘿然一笑,“反倒是28nm、14nm和7nm这三个节点的工艺才是市场主流,特别是我们国内绝大部份的芯片需求,所以有了国产的DUV浸润式光刻机,基本可以保证我们不会也不怕被卡脖子,也能保证支撑到我们研发出EUV光刻机的那一天。”
众人两两相望,相视一笑。
确实,28nm是集成电路产能中划分中低端跟中高端的分界线。
除了对功耗要求比较高的CPU、GPU、AI芯片外,其余的工业级芯片用的都是28nm以上的技术,比如电视、空调、汽车、高铁、火箭、卫星、工业机器人、电梯、医疗设备、智能手环、无人机……
但现在,7nm,甚至不计任何代价,极限可以推到5nm,简直是绰绰有余。
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